阻值為1GΩ或者更高的電阻器常常稱為高兆歐電阻器。高兆歐電阻器使這些元件成為不尋常的器件。所以在對其進行測量時，要考慮以下幾種因素：電壓系數(shù)和溫度系數(shù)、機械振動的影響及污染等。
廣泛使用的高兆歐電阻器有兩種：碳膜電阻器和金屬氧化物電阻器。與普通電阻器相比，碳膜高兆歐電阻器噪聲大、不穩(wěn)定、溫度系數(shù)高、電壓系數(shù)大、并且非常脆。金屬氧化物型電阻器近年來的發(fā)展使其電壓系數(shù)大為降低，溫度系數(shù)和時間穩(wěn)定性也得到改進?，F(xiàn)代的器件可以達到電壓系數(shù)小于5ppm/V，經(jīng)過5年的測試以后沒有明顯的漂移。100MΩ的溫度系數(shù)在0.01%/℃ ，100GΩ的溫度系數(shù)在0.025%/℃。
處理這類電阻器要特別小心。由于機械振動引起導電材料的微粒移動，可能會大大改變電阻的數(shù)值。不要觸摸電阻元件或其玻璃外殼也是非常重要的。這樣做以后，由于產(chǎn)生了新的電流通路或者產(chǎn)生了小的電化學產(chǎn)生電流，從而可能會改變其電阻值。
電阻器經(jīng)過表面涂敷，以避免在其表面形成水膜。所以，如果由于不當?shù)奶幚砘蚩諝馕廴疚锏某练e而在其表面形成薄膜，則應使用浸了甲醇的泡沫簽來清洗。清洗之后，應當使電阻器在低濕度的空氣中干燥幾個小時，以便使靜電消散。
